第51回冬期講習会「X線・EUV光学の基礎と最前線~半導体リソグラフィ・顕微鏡から医学・天文学まで~」

オンライン開催

概要

 X線・EUV光は物質との相互作用が可視光と大きく異なるため、「X線光学」という学問分野が存在します。EUV光は主に半導体リソグラフィーにX線は顕微鏡・医学・天文学に利用され、広い学問分野や産業分野で不可欠な存在となっています。また2023年9月にX線分光撮像衛星「XRISM(クリズム)」の打ち上げがあり、2024年4月には次世代放射光施設NanoTerasu(ナノテラス)が運用を開始、EUV半導体リソグラフィーでは近年2 nm世代先端半導体の量産実現に向けて国策半導体会社が設立されるなど、X線・EUV光学関連分野は大きな変革の時を迎えています。
 本講習会ではX線・EUV光学分野の著名な講師の方々をお招きして、X線光学の基礎から半導体リソグラフィー・顕微鏡・天文学の基礎と応用に関して解説していただきます。X線・EUV光を用いるイメージングやその応用技術に興味をお持ちの研究者、技術者、学生の皆様にとって、充実した講習になるものと考えています。この貴重な機会に多くの方のご参加をお待ちしております。

日時

2025年1月30日(木)、31日(金)(オンライン開催)

主催

⼀般社団法⼈ ⽇本光学会

後援

オプトロニクス社

プログラム

【1月30日(木)】
 10:20~10:30  開会の辞
             日本光学会 会長 川田 善正(静岡大学)
 10:30~12:00  X線・EUV光学の概要
             雨宮 健太(高エネルギー加速器研究機構)
 12:00~13:00  < 昼食 >
 13:00~14:30  EUV半導体リソグラフィの基礎と応用の最前線、今後の展望
             原田 哲男(兵庫県立大学)
 14:30~14:50  < 休憩 >
 14:50~16:20  X線望遠鏡 - 基礎、製作、およびX線天文学の最前線
             石田 学(宇宙科学研究所)

【1月31日(金)】
 9:10~10:40  日米放射光施設におけるヒト脳組織などのX線イメージング研究
             水谷 隆太(東海大学)
 10:40~10:50  < 休憩 >
 10:50~11:50  X線タイコグラフィの基礎と応用の最前線
             高橋 幸生(東北大学)
 11:50~12:50  < 昼食 >
 12:50~13:50  X線分析・イメージングにおける産業利用支援の最前線
             末広 省吾((株)住化分析センター)
 13:50~14:50  X線自由電子レーザーの高強度ナノ集光の最前線
             山田 純平(大阪大学)
 14:50~15:00  < 休憩 >
 15:00~16:00  X線・EUV・VUV及び可視分光を用いた核融合プラズマの計測
             大石 鉄太郎(東北大学)
 16:00~17:00  はやぶさ2サンプルのマルチプローブ分析:放射光、電子線、イオンビームの組み合わせは万能か?
             伊藤 元雄(JAMSTEC)
 17:00~17:10  < 休憩 >
 17:10~18:10  EUV半導体リソグラフィのエコシステム
             永原 誠司(ASML Japan)
 18:10~18:15  閉会の辞
             実⾏委員長 篭島 靖(兵庫県立大学)

申し込み

日本光学会 第51回冬期講習会 ウェブサイト内の参加登録フォームよりお申し込みください。
https://myosj.or.jp/winter_symp/winter_symp2025/

【参加申込締切】
 2024年 1月 16日(木) 12:00

料金

日本光学会個人会員・応用物理学会個人会員 20,000円
日本光学会賛助会員・協賛学協会個人会員 25,000円
日本光学会学生会員・応用物理学会学生会員 1,000円
非会員 40,000円 / 学生非会員3,000円
※クレジットカード払いのみとさせていただきます。

注意事項

【お問い合わせ先】
・お申込みについて
 日本光学会事務局
 E-mail: info(at)myosj.or.jp((at)を@に変更してください)

・内容について
 実行委員長 兵庫県立大学 篭島 靖
 E-Mail: ws2025(at)myosj.or.jp((at)を@に変更してください)

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